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21_78.pdf164KbAdobe PDF
Title :Sinusoidal waveleangth-scanning common-path interferometer with a beam-scanning system for measurement of film thickness variations
Authors :Badsha, Md. Syef Bin
Sasaki, Osami
Choi, Samuel
Suzuki, Takamasa
Publisher :電気学会東京支部新潟支所
Issue Date :Nov-2011
Journal Title :電気学会東京支部新潟支所研究発表会予稿集
Volume :21
Start Page :78
End Page :78
Type Local :会議発表論文
Language :eng
Format :application/pdf
URI :http://hdl.handle.net/10191/32443
fullTextURL :http://dspace.lib.niigata-u.ac.jp/dspace/bitstream/10191/32443/1/21_78.pdf
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