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4_0113.pdf1710KbAdobe PDF
Title :超微小硬さ試験機を利用した薄膜の膜厚測定の試み
Title alternative :Trial of Measurement on the Thickness for Thin Film Using Ultramicro Hardness Tester
Authors :宮路, 葉
石橋, 達弥
大木, 基史
天野, 裕久
中福, 頼綱
Publisher :日本機械学会
Issue Date :2002
Journal Title :関東支部ブロック合同講演会講演論文集
Volume :020-2
Start Page :129
End Page :130
other article number :405
Keywords :Ultramicro Hardness Test
Sn coating
Thickness for Thin Film
Type Local :会議発表論文
Language :jpn
URI :http://hdl.handle.net/10191/5580
fullTextURL :http://dspace.lib.niigata-u.ac.jp/dspace/bitstream/10191/5580/1/4_0113.pdf
Rights :日本機械学会
Appears in Collections:02 日本機械学会

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